金刚石膜的应用与抛光技术 pdf

金刚石膜的应用与抛光技术
作者： 苑泽伟著
出版发行： 北京：科学出版社 , 2023.05
I S B N 号： 978-7-03-073844-8
页数： 316
原书定价： 188.00
开本： 16开
主题词： 类金刚石膜-研究
中图法分类号： TB43 ( 工业技术->一般工业技术->工业通用技术与设备->薄膜技术 )
内容提要：
金刚石作为第四代半导体材料，具有极其优越的物理化学特性，在诸多高科技领域具有很好的应用前景。金刚石抛光技术的研究不但突破了金刚石在高科技领域的应用瓶颈，还带动了一些新工艺、新方法和新技术的发展。本书以作者多年的科研成果为基础，汇集国内外金刚石领域的最新进展，全面系统地对金刚石应用和抛光技术的重要成果进行了归纳和总结，内容主要包括：金刚石的结构及性能，金刚石膜的应用，金刚石膜的制备技术，金刚石膜的去除机理与抛光理论，金刚石膜的机械抛光技术、摩擦化学抛光技术、化学机械抛光技术、光催化辅助抛光技术及特种抛光技术，金刚石相关材料应用及加工技术。本书可供高等院校机械和材料等相关专业师生、研究院所及相关领域企业的研发与应用人员参考。

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